解決方案
(1)提供燃爆類移動氣房,智能化控制,可實現現場及遠程報價,集中化控制
(2)提供毒腐燃爆類專用Hisptech 型專用全自動氣體控制柜,自動切換,帶有二次調壓、三級調壓,降低調壓閥兩側壓力差,保證使用壽命。配置專業開發的軟件,實現人機分離智能化操作
(3)提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式,處理效率≥99.999%
此項目客戶是山東一家半導體公司,實驗使用的干法刻蝕設備,涉及到的氣體有六氟化硫、氯氣、硅烷、氫氣、氦氣等8路氣體。為實驗人員提供穩定、高純、安全的實驗環境
(1)提供燃爆類移動氣房,智能化控制,可實現現場及遠程報價,集中化控制
(2)提供毒腐燃爆類專用Hisptech 型專用全自動氣體控制柜,自動切換,帶有二次調壓、三級調壓,降低調壓閥兩側壓力差,保證使用壽命。配置專業開發的軟件,實現人機分離智能化操作
(3)提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式,處理效率≥99.999%