客戶背景:
此項目客戶是山東一家半導體公司,實驗使用的干法刻蝕設備,涉及到的氣體有六氟化硫、氯氣、硅烷、氫氣、氦氣等8路氣體。為實驗人員提供穩定、高純、安全的實驗環境
客戶需求:
(1)實驗室內沒有比較合適的位置做氣瓶間
(2)壓端用氣設備對壓力和流量希望能動態調節
(3)氣體使用壓力有低壓高壓要求,使用的鋼瓶尺寸大小各異
(4)能做到人機分離,尾氣排放這一塊要求能直接排放不產生環保問題
解決方案:
(1)提供燃爆類移動氣房,智能化控制,可實現現場及遠程報價,集中化控制
(2)提供毒腐燃爆類專用Hisptech 型專用全自動氣體控制柜,自動切換,帶有二次調壓、三級調壓,降低調壓閥兩側壓力差,保證使用壽命。配置專業開發的軟件,實現人機分離智能化操作
(3)提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式,處理效率≥99.999%