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首頁>案例>半導體集成電路
半導體實驗室氣路

客戶背景:

此項目客戶是山東家半導體公司實驗使用的干法刻蝕設備涉及到的氣體有六氟化硫、氯氣、硅烷、氫氣、氦氣等8路氣體。為實驗人員提供穩定、高純安全的實驗環境


客戶需求:

(1)實驗室內沒有比較合適的位置做氣瓶間

(2)壓端用氣設備對壓力和流量希望能動態調節

(3)氣體使用壓力有低壓高壓要求,使用的鋼瓶尺寸大小各異

(4)能做到人機分離,尾氣排放這一塊要求能直接排放不產生環保問題


解決方案:

(1)提供燃爆類移動氣房,智能化控制,可實現現場及遠程報價,集中化控制

(2)提供毒腐燃爆類專用Hisptech 型專用全自動氣體控制柜,自動切換,帶有二次調壓、三級調壓,降低調壓閥兩側壓力差,保證使用壽命。配置專業開發的軟件,實現人機分離智能化操作

3)提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式,處理效率≥99.999%

項目成果
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