即槽車充填單元,將槽車原液Chemical輸送至儲罐儲存的供應機臺
Storage Tank儲罐
材質:根據供應化學品性質的不同,儲罐常常也采用不同的材質。
酸堿類化學品:罐體CS/SUS304,內襯PTFE
有機溶劑類化學品:罐體SUS316L-BA/EP
腐蝕性溶劑化學品:罐體CS/SUS304,內襯PTF
化學品供應系統簡稱CDS,是一個為生產線實現24小時不間斷供應高純度化學品的系統,一般應用于使用量大、POU點位多或者危險性高的化學品。其目的是供應高純度化學品用于芯片表面雜質和微粒子的清洗,芯片圖形的刻蝕,芯片圖形的顯影、芯片的研磨等
半導體行業主要使用的化學品大致可以分為酸性(Acid)、堿性(Base)、有機(Solvent)、氧化劑(Oxider)及研磨液(Slurry)。工藝半導體制造在很大程度上是一種與化學有關的工藝過程,高達20%工藝步驟是清洗和晶圓表面的處理。
即槽車充填單元,將槽車原液Chemical輸送至儲罐儲存的供應機臺
Storage Tank儲罐
材質:根據供應化學品性質的不同,儲罐常常也采用不同的材質。
酸堿類化學品:罐體CS/SUS304,內襯PTFE
有機溶劑類化學品:罐體SUS316L-BA/EP
腐蝕性溶劑化學品:罐體CS/SUS304,內襯PTF
即化學品供應單元,用于將200L Drum桶或Storage Tank內的化學品通過內部的Pump、Filter供應至VMB。
根據供應化學品性質的不同,材質分為:
酸堿類化學品:外殼PP,內部閥件管路PFA
有機溶劑類化學品:外殼SUS,內部管路閥件SUS
腐蝕性溶劑化學品:外殼SUS,內部管路閥件PFA
VMB (valve manifold box)
閥門分流箱,用于主管道連接至VMB后,通過支路閥門分別連接至對應POU。
材質:根據供應化學品的性質分為
酸堿類化學品:外殼PP,內部閥件管路PFA
有機溶劑類化學品:外殼SUS,內部管路閥件SUS
腐蝕性溶劑化學品:外殼SUS,內部管路閥件PFA
T-BOX:用于供應主管路需要連接至多個VMB,主管路上開支路時需要安裝T-BOX。
E-BOX:用于供應主管路末端需要預留點時,在主管路末端安裝E-BOX。
材質:根據供應化學品的性質分為:
酸堿類化學品:外殼PP,內部閥件管路PFA
有機溶劑類化學品:外殼SUS,內部管路閥件SUS
腐蝕性溶劑化學品:外殼SUS,內部管路閥件PFA