解決方案
(1)工藝氣體控制設備
A:毒腐燃爆類供氣設備GC
毒腐燃爆類氣體使用Hisptech 型全自動特氣柜,全自動觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空,自動緊急遠程切斷、事故報警,高壓保壓鋼瓶接頭測漏,泄漏報警對 接,通風出口等)
B:終端氣體控制設備
Hisptech 型VMB,具有自動緊急遠程切斷、帶抽真空、外吹掃、泄漏報警對接,通風出口等
(2)氣體管道輸送系統
管道需要按照整幢樓的現狀及潔凈室建設及裝修綜合 情況進行安全布置,并按照對應工藝設備實際需要安全科學分送到潔凈室內指定設備處。管道的布置須 使用安全且必要的雙層套管(內層管為潔凈拋光 EP 級管,中間真空,外層做 BA 級管)中間抽真空且進行真空監控,所有管材及管閥件須用國際知名品牌 EP 級材料
(3)尾氣處理系統
提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式,處理效率≥99.999%