1.特氣系統中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;單臺設備可以獨成系統獨立運轉,也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統,在監控中心統一監控管理,其報警系統還可以與安監系統、消防系統對接。
2.電子特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。