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SERVICE AREA
服務領域
特氣管道系統( Special Gas Pipeline System) 介紹

是指SiH4,NF3,Cl2 易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過99.999%)的一些具有高危險性,應確保安全性的特氣儲存、輸送與分配過程的設備、管道和部件的總稱,特氣系統工程是用于實現特氣系統安全使用的工程。蓋斯帕克提供設計、選型、制造、安裝、測試、調試和系統托管服務等整體解決方案。

特氣管道系統由儲存、輸送、分配、控制四類設備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC),“輸送”指配管部分(一般用雙套管),“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB),“控制”指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。

特氣控制系統種類:

●半自動GC/GR                  ●全自動GC/GR  

●全自動VMB                     ●大宗特氣系統(BSGS) 

●高精度混氣系統               ●TMA供應系統 

●TEOS供應系統                 ●DEZ供應系統

●TCS/DCS供應系統           ●非標定制特氣系統

特氣管道系統特點:
特氣管道系統特點:

1.特氣系統中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警,并可擴展地震監控報警;單臺設備可以獨成系統獨立運轉,也可多臺設備用PLC或TGO連起來組成大系統,在監控中心統一監控管理,其報警系統還可以與安監系統、消防系統對接。  

2.電子特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

適合場合:
適合場合:

芯片半導體、微電子企業、光伏太陽能、生物制藥、新材料等行業,常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設備

設計規范及參考
  • GB50646-2020
    《特種氣體系統工程技術標準》
  • GB/T20801-2006
    《壓力管道規范-工業管道》
  • TSG D0001-2009
    《壓力管道安全技術監察與規程-工業管道》
  • GB50646-2020
    《特種氣體系統工程技術標準》
  • GB50236-2011
    《現場設備、工業管道焊接工程施工及驗收規范》
  • GB9448-1999
    《焊接與切割安全》
  • GB50235-2010
    《工業金屬管道工程施工及驗收規范》
  • GB4962-2008
    《氫氣使用安全技術規范》
  • GB50493-2009
    《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設計規范》
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