(1)基礎配置 ■氦檢報告 ■三色塔燈 ■防爆電控箱 ■高壓測漏功能 ■帶自清潔功能 ■工藝瓶自動供氣 ■4寸排風口及閥門 ■所有閥門使用氣動閥 ■防爆外柜,烤漆或不銹鋼外殼包覆 ■符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗 ■實現人氣分離的全自動觸摸屏操作(外吹掃、抽真空,自動緊急遠程切斷、事故報警,高壓保壓鋼瓶接頭測漏,泄漏報警對 接,通風出口等) (2)可選配置 ■噴淋頭 ■帶加熱盤面 ■高溫探測報警 ■配置電子磅秤 ■配置 UV/IR,噴淋頭,高溫,煙感應 ■前端0.1μ過濾器,后端0.001μ終端過濾器 ■為保證安全,所有閥門管件須使用美國Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌 | ![]() |
(3)適應氣體
燃爆性氣體,如氫氣(H2), 一氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等,毒腐性氣體,如二氧化硫(SO2)、硫化氫(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氫(HCL)等
(4)應用行業
應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。