規格:三瓶工藝氣瓶,手動 (1)基礎配置 ■氦檢報告 ■手動操作 ■高壓測漏功能 ■帶自清潔功能 ■三瓶工藝瓶供氣 ■半自動切換供氣 ■4寸排風口及閥門 ■配置吹掃抽真空功能 ■帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼 (2)可選配置 ■噴淋頭 ■帶加熱盤面 ■高溫探測報警 ■配置電子磅秤 ■煙霧感應器配置 UV/IR火焰探測器 ■前端0.1μ過濾器,后端0.001μ終端過濾器 |
(3)適應氣體
燃爆性氣體,如氫氣(H2), 一氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等,毒腐性氣體,如二氧化硫(SO2)、硫化氫(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氫(HCL)等
(4)應用行業
應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。