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雙瓶手動特氣柜(GC)
規格:雙瓶工藝氣瓶,手動
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四瓶半自動氣瓶架(GR)
規格:四瓶工藝氣瓶,半自動
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VMB閥門分配箱
VMB閥門分配箱,是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱。VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。
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水洗式廢氣處理柜(Scrubber)
處理流量:600SLM
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霍尼韋爾Midas偵測器
霍尼韋爾Midas?是用于半導體工業及其他一般工業所使用的有毒氣體以及可燃氣體的高靈敏度和可靠度的氣體探測器。
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半自動切換面板
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