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單瓶手動特氣柜(GC)
規格:單瓶工藝氣瓶,手動
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雙瓶半自動氣瓶架(GR)
規格:雙瓶瓶工藝氣瓶,半自動
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吸附式Scrubber
吸附式scrubber 尾氣處理設備可處理氣體種類包括半導體、液晶以及太陽能等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等
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智能氣體監控箱
本報警箱適用壓力、氣體濃度的實時監控及故障報警,最多可同時監控12路數據,根據不同的監控點數采用不同的硬件配置。根據用戶需求自由定義監視通道的各項屬性,在主界面中,可以看到各通道的監視值,及對應報警情況,當有報警發生時,對應報警燈會由綠色變為紅色。
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全自動切換面板
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全自動分配箱(VMB)
VMB閥門分配箱,是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱。VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。
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