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水洗式廢氣處理柜(Scrubber)
  • 冷卻水入口流量檢測
  • 處理效率大于 99.999%
  • 對稀釋氣體流量進行控制
  • 各種氣體獨立進入 Scrubber
  • 進氣口配單向閥、可燃氣配阻火器
  • 進入氣體管道爐前管道使用SS316LEP管
適用氣體

  • 燃爆毒腐性氣體 :如氯氣（Cl2）, 氯化氫（HCl）, 三氯化硼（BCl3）等

應用行業

  • 適合于半導體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對燃爆毒腐氣體處理的企業或實驗室

應用行業
  • 光伏太陽能
    光伏太陽能
  • 半導體芯片
    半導體芯片
  • 生物醫藥工程
    生物醫藥工程
  • 高校科研實驗室
    高校科研實驗室
  • 微電子新材料
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  • 材料分析實驗室
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