電子氣體，半導體行業重要原材料
電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的一個重要分支，是集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業生產不可或缺的原材料。
通常半導體生產行業，將氣體劃分成常用氣體和特殊氣體兩類。其中，常用氣體指集中供給而且使用非常多的氣體，比如N2、H2、O2、Ar、He等。特種氣體指半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，比如高純度的SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，在IC生產環節中，使用的電子氣體有差不多有100多種，核心工段常見的在30種左右。正是這些氣體通過不同的制程使硅片具有半導體性能，它又決定了集成電路的性能、集成度、成品率。即使是某一種某一個特定雜質超標，都將導致質量嚴重缺陷，嚴重時會因不合格氣體的擴散，導致整個生產線被污染，乃至生產全面癱瘓。因此，電子氣體是電子制造過程關鍵基礎材料，是名副其實的電子工業“血液”。
電子氣體的原料主要為空氣分離氣體、石油化工和煤化工生產過程中產生的低純度原料氣、廢氣和其它基礎化工原料。主要原材料來源廣泛，市場供應充足，較容易從相關原材料供應廠家獲得。我國大型煉鋼企業以及化肥企業基本配備了空氣分離設備，空分氣體供應量大且價格穩定。電子特種氣體對原料氣體的消耗量占石油化工和煤化工原料氣產量的比例很小，穩定的石化和基礎化工行業能向電子特種氣體行業提供充足的原材料。“十三五”規劃對環境保護以及工業廢氣排放目標的進一步明確，上游行業的供應將更為充足。氣體容器因能長期使用，在電子氣體成本中占比較低，價格波動對行業影響較小。
