落地式閥門控制箱
(1)產品簡介 VMB閥門分配箱,是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱。VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣 (2)基礎配置 ■尾氣排放功能; ■具備一個預留擴充點 ■氣體分配柜的負壓應持續監控。 ■防爆外柜,烤漆或不銹鋼外殼包覆 ■緊急切斷功能,風壓事故報警功能等 ■為保證安全,所有閥門管件須使用優質的國際知名品牌 ■符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼 ■帶外吹掃、帶抽真空,自動緊急遠程切斷、事故報警,泄漏報警對接,通風出口等 ■每個stick 可配置:手動隔膜閥、氣動隔膜閥、壓力表,壓力傳感器、減壓閥,單向閥,過濾器、安全閥等 |
(3)適用氣體
易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
(4)適用行業
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等