全自動分配箱(VMB)
(1)簡介 VMB閥門分配箱,是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱。VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。 (2)面板基礎配置 ■吹掃壓力表 (3)面板可選配置 ■真空發生器 ■測試端口閥門 ■單向閥、過濾器 | ![]() |
(4)適用氣體
易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
(5)適用行業
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等