<strike id="jnfnp"></strike>
<span id="jnfnp"></span>
<strike id="jnfnp"><dl id="jnfnp"></dl></strike>
<span id="jnfnp"><dl id="jnfnp"><ruby id="jnfnp"></ruby></dl></span>
<ruby id="jnfnp"><i id="jnfnp"><cite id="jnfnp"></cite></i></ruby>
<strike id="jnfnp"><dl id="jnfnp"><del id="jnfnp"></del></dl></strike>
<strike id="jnfnp"></strike>
<strike id="jnfnp"></strike>
<strike id="jnfnp"><dl id="jnfnp"><del id="jnfnp"></del></dl></strike>
<strike id="jnfnp"></strike>
<strike id="jnfnp"><i id="jnfnp"></i></strike> <ruby id="jnfnp"><i id="jnfnp"><cite id="jnfnp"></cite></i></ruby>
<span id="jnfnp"><dl id="jnfnp"><ruby id="jnfnp"></ruby></dl></span>
<strike id="jnfnp"><dl id="jnfnp"></dl></strike>
<span id="jnfnp"><video id="jnfnp"><strike id="jnfnp"></strike></video></span>
<ruby id="jnfnp"></ruby>
<span id="jnfnp"></span>
<strike id="jnfnp"><dl id="jnfnp"><del id="jnfnp"></del></dl></strike>
<strike id="jnfnp"></strike>
<strike id="jnfnp"></strike>
<th id="jnfnp"></th><strike id="jnfnp"><dl id="jnfnp"></dl></strike>
<strike id="jnfnp"></strike>
<strike id="jnfnp"><dl id="jnfnp"></dl></strike>
VMB閥門控制箱

VMB閥門控制箱


 

(1)產品簡介

VMB閥門分配箱,是一種內嵌多支路,實現高純氣體或液體分流的閥門箱。VMB能讓高純原料從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點,壓力可被單獨地調控,從而可同時滿足不同應用的需求。它還可提供吹掃功能和真空抽氣功能,因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維。除此以外,設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下,吹掃某一支路或對其進行真空抽氣



(2)基礎配置

尾氣排放功能;

具備一個預留擴充點

氣體分配柜的負壓應持續監控。

防爆外柜,烤漆或不銹鋼外殼包覆

緊急切斷功能,風壓事故報警功能等

為保證安全,所有閥門管件須使用優質的國際知名品牌

符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼

帶外吹掃、帶抽真空,自動緊急遠程切斷、事故報警,泄漏報警對接,通風出口等

每個stick 配置:手動隔膜閥、氣動隔膜閥、壓力表,壓力傳感器、減壓閥,單向閥,過濾器、安全閥等





VMB.png




(3)適用氣體

易燃性,腐蝕性,毒性氣體,諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等


(4)適用行業

Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等


国产在线一区二区