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閥門分配箱(VMB/VMP)
VMB閥門控制箱
尾氣排放功能;
具備一個預留擴充點
氣體分配柜的負壓應持續監控
防爆外柜,烤漆或不銹鋼外殼包覆
緊急切斷功能,風壓事故報警功能等
為保證安全,所有閥門管件須使用優質的國際知名品牌
符合國際安全規范的帶鋼絲玻璃觀察窗、自動關閉門、抽風外殼
適應氣體
易燃性,腐蝕性,毒性氣體:諸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
應用行業
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校實驗室等
應用行業
材料分析實驗室
半導體芯片
生物醫藥工程
生物醫藥工程
生物醫藥工程
材料分析實驗室
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