雙瓶全自動特氣柜(GC)
- 氦檢報告
- 三色塔燈
- 防爆電控箱
- 高壓測漏功能
- 帶自清潔功能
- 4寸排風口及閥門
- 所有閥門使用氣動閥
可選配置
- 噴淋頭
- 帶加熱盤面
- 高溫探測報警
- 配置電子磅秤
- 配置 UV/IR,噴淋頭,高溫,煙感應
- 前端0.1μ過濾器,后端0.001μ終端過濾器
- 為保證安全,所有閥門管件須使用美國Parker、Aptech、 Fujikin、TK、Unilok、SMAT、Mott、Hisptech等品牌
適應氣體
- 燃爆性氣體:如氫氣(H2), 一氧化氮(N2O), 甲烷(CH4),乙炔(C2H2)等
- 毒腐性氣體:如二氧化硫(SO2)、硫化氫(H2S)、一氧化碳(CO)、二氧化氮(NO2)、氯化氫(HCL)等
應用行業
- 應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上,適用于高校實驗室、材料分析實驗室、芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。
應用行業
-
材料分析實驗室
-
半導體芯片
-
生物醫藥工程
-
高校科研實驗室
-
微電子新材料
-
材料分析實驗室
国产在线一区二区