吸附式scrubber 尾氣處理設備可處理氣體種類包括半導體、液晶以及太陽能等行業中蝕刻制程與化學氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等

（1）吸附式原理

吸附式scrubber是一種基于物理吸附和化學反應的尾氣處理技術。其主要原理是通過吸附劑吸附尾氣中的污染物，然后通過化學反應將其轉化為無害物質，最終達到凈化尾氣的目的。

（2）吸附劑的選擇

吸附式scrubber中的吸附劑通常選擇具有高吸附能力和良好穩定性的材料，如活性炭、分子篩等。吸附劑的選擇應根據尾氣中的污染物種類和濃度來確定，以確保高效吸附和轉化效果。

（3）吸附過程

吸附式scrubber的吸附過程主要分為物理吸附和化學吸附兩個階段。物理吸附是指污染物在吸附劑表面的物理吸附作用，主要依靠吸附劑的孔隙結構和表面化學性質。化學吸附則是指污染物與吸附劑之間的化學反應，通過化學反應將污染物轉化為無害物質。