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廢氣處理柜(Scrubber)
電熱式廢氣處理柜(Scrubber)
燃燒溫度850℃;
燃燒室溫度監測與報警
助燃氣體入口壓力檢測
對稀釋氣體流量進行控制
燃燒效率大于 99.999%
加熱腔體采用C276材質
適用氣體
易燃可燃性氣體 :如氫氣(H2), 硅烷(SiH4), 氨氣(NH3),等
應用行業
適合于半導體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對燃爆氣體處理的企業或實驗室
應用行業
光伏太陽能
半導體芯片
生物醫藥工程
高校科研實驗室
微電子新材料
材料分析實驗室
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