（1）基礎配置

■尺寸：DIMENSION 尺寸 約1000*900*2060(W*D*H)

■進氣口：進口1~4端口，入口模塊組件溫度監測( 120℃ ↓)

■濕式洗滌：防腐項目（高樹脂涂層室）、Switch 方式的 流量供給監測、濕式洗滌溫度監測(35℃以下)

■濕式儲罐：高樹脂涂層室、容量充分的 循環水、抽水機

■等離子體室（反應器）：自上而下流動系統、室內溫度傳感器、防腐項目（內腔_ SUS310）

■通過加熱模塊，配備溫度高及溫度低報警功能，并配以充足空氣（空氣需用戶現場提供）助燃，含尾氣處理器稀釋助燃氣體用量，尾氣可處理容量≥1500升每分鐘，將可燃或可分解廢氣燃燒、氧化、分解，達到降害目的，本設備可處理可燃性/爆炸性氣體處理量≥220SLM,如如氫氣、乙炔、磷烷、一氧化碳、二氟甲烷、氟化甲基等,DIMENSION 尺寸 約1000*900*2060(W*D*H)

■水洗除了有冷卻、降溫的功能，還可以通過水溶解或水分解，將
溶水氣體變成液態酸或堿性溶液對廢氣進行處理，設備配置噴淋頭5個，方便后續工程的酸堿中和處理，本設備可處理溶水性性氣體處理
量≥150SLM,如氨氣、氟氣、乙硼烷等

（2）適用氣體

燃爆毒腐性氣體，如 氟氣（F2）, 砷（AS）, 溫室氣體（GHG）等

（3）應用行業

適合于半導體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對燃爆毒腐氣體處理的企業或實驗室