水洗+燃燒二合一型（Scrubber）
處理流量：600SLM （1）基礎配置 ■尺寸：DIMENSION 尺寸 約950*900*1800(W*D*H) ■燃燒溫度850℃ ■冷卻水入口流量檢測 ■燃燒效率大于 99.999% ■加熱腔體采用C276材質 ■對稀釋氣體流量進行控制 ■各種氣體獨立進Scrubber ■混合進入的CDA及N2流量進行控制 ■排風口壓力、濃度、溫度監測報警 ■進氣口配單向閥、可燃氣配阻火器 ■觸摸屏+國際知名品牌PLC自動控制 ■進入氣體管道爐前管道自動軌道焊接 ■設備管道經涂層處理具備耐磨耐腐蝕性 ■進入氣體管道爐前管道使用SS316LEP管 ■通過電加熱到 850℃，加熱棒可根據用戶需求配置4~8支，腔室內設置2個以上溫度熱電偶，具有溫度高及溫度低報警功能，并配以充足空氣（空氣需用戶現場提供）助燃，含尾氣處理器稀釋助燃氣體用量尾氣可處理容量≥600升每分鐘，處理效率≥99%，將可燃或可分解廢氣燃燒、氧化、分解，達到降害目的 ■水洗除了有冷卻、降溫的功能，還可以通過水溶解或水分解，將溶水氣體變成液態酸或堿性溶液及增加2層以上填料對廢氣進行處理，設備配置10以上噴淋頭，方便后續工程的酸堿中和處理 |
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（2）適用氣體
燃爆毒腐性氣體，如氫氣（H2）, 硅烷（SiH4）, 氨氣（NH3）, 磷烷（PH3），乙炔（C2H2）等
（3）應用行業
適合于半導體、新材料及高等院校、科研院所、航空航天和微電子等需要對燃爆毒腐氣體處理的企業或實驗室
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